坩埚制造技术

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  本实用新型专利技术提供了一种坩埚。该坩埚包括：坩埚底；筒体，筒体与坩埚底上下式分体设置，筒体设置在坩埚底上，筒体包括沿筒体的轴向布置的多个独立的筒段。应用本实用新型专利技术的技术方案，坩埚由分体设置的坩埚底和筒体构成，筒体由多个筒段构成，在坩埚局部发生破损时，仅需更换构成坩埚的一部分，有效地降低了使用成本。

  目前使用的石墨材质的坩埚大都为三瓣锅，组成三瓣锅的中每一部分的中心角为120°。三个角拼接在一起形成一个圆，中心角相互拼接。因为坩埚拥有非常良好的热导性和耐高温性，在高温使用的过程中，热线胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸，碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。所以在制作晶体的过程中，现在往往选择坩埚作为其热场的重要组成部分。因为拉制单晶硅棒对硅料的纯度要求极高，所以在单晶炉热场中目前使用的三瓣坩埚大都只起到支撑的作用，并不用作硅料的直接盛载器皿，在坩埚内里面还放着用于盛放硅料的石英坩埚，因此坩埚才可能制成三瓣状，这样做才能够增强高温下形变对其常规使用的寿命的影响。由于现在所采用的三瓣埚有其自身无法回避的缺点，因为其形状是把一个整的圆筒状器皿平均的分成三部分，所以每一部分都有极其不规则的形状，而且棱角分明，在日常生产使用的过程中极易损坏，这样极度影响到坩埚的常规使用的寿命。另外，由于三瓣坩埚是在高温负压有氩气循环的环境下运行，每次使用后坩埚连接的尖角处都会变的更薄，有些甚至引发坩埚的断裂。当三瓣锅连接的尖角处的厚度小于IOmm时，为了生产的安全，车间会报废坩埚，这样也给生产带来了不少麻烦，且会增加生产所带来的成本。现有专利号为6.3的“一种分体式石墨坩埚以及在其埚内制阻碳涂层的方法”公开了一种上下分体式坩埚。此种坩埚分为上下分体式两部分，材质为石墨。上部分有凸起，下部分有凹槽，上下配合使用。此种坩埚为石墨材质，当单晶硅棒的生产程序运行完毕后，石英坩埚上的热应力需要由石墨坩埚释放开来，而石墨材质虽然能释放热应力，但是会导致石墨坩埚的寿命大幅度的降低，增加了上半部分的更换频率，增加了使用成本。

  本技术旨在提供一种降低使用成本的坩埚。为实现上述目的，本技术提供了一种坩埚，坩埚包括:坩埚底；筒体，筒体与坩埚底上下式分体设置，筒体设置在坩埚底上，筒体包括沿筒体的轴向布置的多个独立的筒段。进一步地，坩埚底由碳-碳复合材料制成。进一步地，筒段碳-碳复合材料制成。进一步地，筒体包括两个筒段。进一步地，筒段为层状网格结构。进一步地，层状网格结构由沿筒段的轴向布置的多个圆环结构叠加形成。进一步地,相邻的两个圆环结构之间粘接固定。进一步地，圆环结构由沿筒段的周向布置的多个弧形结构依次连接构成。进一步地，相邻的两个圆环结构的弧形结构错缝布置。应用本技术的技术方案，坩埚包括坩埚底和筒体，筒体与坩埚底上下式分体设置，筒体设置在坩埚底上，筒体包括沿筒体的轴向布置的多个独立的筒段。应用本技术的技术方案，坩埚由分体设置的坩埚底和筒体构成，筒体由多个筒段构成，在坩埚局部发生破损时，仅需更换构成坩埚的一部分，有效地降低了使用成本。【附图说明】构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中:图1示出了本技术实施例的坩埚的结构示意图；图2示出了本技术实施例的坩埚的筒段的结构示意图。附图标记:l、i甘祸底；2、筒体；21、筒段。【具体实施方式】需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1和图2所示，本技术实施例的坩埚包括坩埚底I和筒体2。筒体2与坩埚底I上下式分体设置，筒体2设置在坩埚底I上，筒体2包括沿筒体2的轴向布置的多个独立的筒段21。坩埚由分体设置的坩埚底和筒体构成，筒体由多个筒段构成，在坩埚局部发生破损时，仅需更换构成坩埚的一部分，有效地降低了使用成本。优选地，坩埚底I由碳-碳复合材料制成。优选地，筒段21碳-碳复合材料制成。坩埚材质为炭-炭复合材料，虽然单晶硅棒的生产程序运行完毕后，石英坩埚上的热应力需要由炭-炭复合材料坩埚释放开来，炭-炭复合材料的坩埚能够很好地释放热应力。筒体2包括两个筒段21。本实施例的坩埚包括坩埚底I和两个筒段21。有利于取出位于该坩埚内部的石英坩埚。并且，由于靠近坩埚底I的筒段21距离坩埚的R部很近，消耗较快，更换频率较位于最上层的筒段21要高，因此，降低了上层筒段21的更换频率，减低了使用成本。如图2所示，筒段21为层状网格结构。层状网格结构也有助于很好的释放热应力。极大地提高了坩埚的常规使用的寿命，降低了使用成本。尽管出炉后石英坩埚与石墨坩埚紧紧贴在一起。优选地，层状网格结构由沿筒段21的轴向布置的多个圆环结构叠加形成。相邻的两个圆环结构之间粘接固定。还可以优选地，圆环结构由沿筒段21的周向布置的多个弧形结构依次连接构成。相邻的两个圆环结构的弧形结构错缝布置。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术能有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。

  一种坩埚，其特征是，所述坩埚包括：坩埚底（1）；筒体（2），所述筒体（2）与所述坩埚底（1）上下式分体设置，所述筒体（2）设置在所述坩埚底（1）上，所述筒体（2）包括沿所述筒体（2）的轴向布置的多个独立的筒段（21）。

  1.一种坩埚，其特征是，所述坩埚包括: 坩埚底(I); 筒体(2)，所述筒体(2)与所述坩埚底(I)上下式分体设置，所述筒体(2)设置在所述坩埚底(I)上，所述筒体(2)包括沿所述筒体(2)的轴向布置的多个独立的筒段(21)。2.依据权利要求1所述的坩埚，其特征是，所述坩埚底(I)由碳-碳复合材料制成。3.依据权利要求1所述的坩埚，其特征是，所述筒段(21)由碳-碳复合材料制成。4.依据权利要求1所述的坩埚，其特征是，所述筒体(2)包括两个所述筒段(2...